엑시머 레이저
엑시머 레이저(excimer laser)는 들뜬 상태에서는 결합하고 바닥상태에서는 흩어지는 화학종을 이용한 레이저다. 엑시머란 들뜬 상태에서는 이합체로 결합하고 바닥상태에서는 흩어지는 화학종이고 엑시플렉스란 들뜬 상태에서는 결합하고 바닥상태에서는 흩어지는 서로 다른 원자로 된 화학종이므로 엄밀히는 엑시머 레이저와 엑시플렉스 레이저를 구별하여야 하나 관용적으로 구분하지 않고 사용된다.
파장이 짧은 자외선인 엑시머 레이저는 물체나 생체조직을 태우지 않고 결합을 끊을 수 있기 때문에 라식 등의 의학이나 포토리소그래피(Photolithography)등 다양한 용도로 쓰인다.
역사
편집모스크바의 레데예프 물리학 연구소에서 니콜라이 바소프, V. A. Danilychev, Yu. M. Popov가 1970년에[1] 172 nm 파장의 유도 방출을 제공하기 위해 전자 빔으로 들뜨게 한 제논 이합체 (Xe2)를 이용하여 발명하였다.
파장 결정
편집엑시머 레이저의 파장은 사용되는 분자에 따라 달라지며, 자외선에 보통 존재한다:
엑시머 | 파장 | 상대력(Relative Power) mW |
---|---|---|
Ar2* | 126 nm | |
Kr2* | 146 nm | |
F2* | 157 nm | |
Xe2* | 172 & 175 nm | |
ArF | 193 nm | 60 |
KrF | 248 nm | 100 |
XeBr | 282 nm | |
XeCl | 308 nm | 50 |
XeF | 351 nm | 45 |
KrCl | 222 nm | 25 |
같이 보기
편집각주
편집- ↑ Basov, N. G. et al., Zh. Eksp. Fiz. i Tekh. Pis’ma. Red. 12, 473(1970).